Application of cerium oxide nanopowders for silicon polishing
نویسندگان
چکیده
The research methods and the first results obtained in study of roughness single-crystal silicon (111) substrates processed at final stage by various are described: traditional polishing without use chemical-mechanical (CMP), with CMP CMP, but oxide cerium nanopowders. efficiency using CeO 2 nanopowders has been demonstrated. following effective values were obtained: - 3.56 nm, 0.54 0.93 nm. Keywords: Surface, roughness, X-ray optics, deep grinding-polishing.
منابع مشابه
Redispersible hybrid nanopowders: cerium oxide nanoparticle complexes with phosphonated-PEG oligomers.
Rare earth cerium oxide (ceria) nanoparticles are stabilized using end-functional phosphonated-PEG oligomers. The complexation process and structure of the resulting hybrid core-shell singlet nanocolloids are described, characterized, and modeled using light and neutron scattering data. The adsorption mechanism is nonstoichiometric, yielding the number of adsorbed chains per particle N(ads) = 2...
متن کاملapplication of upfc based on svpwm for power quality improvement
در سالهای اخیر،اختلالات کیفیت توان مهمترین موضوع می باشد که محققان زیادی را برای پیدا کردن راه حلی برای حل آن علاقه مند ساخته است.امروزه کیفیت توان در سیستم قدرت برای مراکز صنعتی،تجاری وکاربردهای بیمارستانی مسئله مهمی می باشد.مشکل ولتاژمثل شرایط افت ولتاژواضافه جریان ناشی از اتصال کوتاه مدار یا وقوع خطا در سیستم بیشتر مورد توجه می باشد. برای مطالعه افت ولتاژ واضافه جریان،محققان زیادی کار کرده ...
15 صفحه اولan application of fuzzy logic for car insurance underwriting
در ایران بیمه خودرو سهم بزرگی در صنعت بیمه دارد. تعیین حق بیمه مناسب و عادلانه نیازمند طبقه بندی خریداران بیمه نامه براساس خطرات احتمالی آنها است. عوامل ریسکی فراوانی می تواند بر این قیمت گذاری تاثیر بگذارد. طبقه بندی و تعیین میزان تاثیر گذاری هر عامل ریسکی بر قیمت گذاری بیمه خودرو پیچیدگی خاصی دارد. در این پایان نامه سعی در ارائه راهی جدید برای طبقه بندی عوامل ریسکی با استفاده از اصول و روش ها...
Synthesis, microstructure and thermal properties of photoluminescent hydrogenated amorphous silicon oxide nanopowders
Hydrogenated amorphous silicon oxide photoluminescent nanopowders have been synthesized using a simple solution method involving the reaction of lithium with trichlorosilane in tetrahydrofuran at room temperature. The powders exhibited maximum luminescent peak at 1.1 eV and had an average composition of SiO0.92H0.53. They possess inhomogeneous microstructures that contain a-Si clusters (Si3–Si–...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: ?????? ??????????? ??????
سال: 2022
ISSN: ['0044-4642', '1726-748X']
DOI: https://doi.org/10.21883/tp.2022.13.52236.95-21